光感応性有機薄膜を用いた蒸着マスクレスパターン形成とデバイス応用

研究課題

研究代表者	臼井博明東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	次世代有機デバイスでは微細パターンを大面積に形成する必要があるが、現在のシャドウマスクを通した蒸着法では限界がある。そこで本研究では機能性有機材料と光重合開始剤の共蒸着により光感応性有機薄膜を形成し、次いで紫外線露光及び現像を行うことにより、蒸着マスクを用いずにデバイスパターンを形成する。さらに、このプロセスを逐次組み合わせ、3色の画素を光描画してパターン形成・集積し、多色発光素子を試作する。