可変キャパシタを利用した静電浮上機構のセルフセンシング制御システム

研究課題

研究代表者	水野毅埼玉大学, 理工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	可変キャパシタを利用した容量型アクチュエータ制御システムを静電浮上に適用し、従来は不可欠であった変位センサを用いずに安定な浮上を達成する。適用する制御システムでは、浮上用アクチュエータと可変キャパシタとを直列に接続し、その両端に一定の直流電圧を印加する。そして、可変キャパシタによってアクチュエータに印加される電圧を制御する。本課題では、可変キャパシタに印加される電圧から浮上対象物の変位を推定する。