超精密非球面形状測定のためのバリアブル・シア・デバイスの開発

研究課題

研究代表者	野村俊富山県立大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	ラテラル・シアリング干渉計は、測定面で反射した光をラテラル(横方向)にシア(ずらす)して干渉縞を生成することから、特別な参照面なしに非球面を測定することが可能である。しかし、干渉縞は測定面の傾きを表しているため、形状への変換には干渉縞解析が必須である。本研究では、シア量を可変することで得られる複数の干渉縞を利用して、空間分解能を向上させる干渉縞解析手法に適用するためのシアデバイスの開発を行う。