マイクロ流体チップのメカニカル・リソグラフィー製造技術の開発

研究課題

研究代表者	前田幸男富山県立大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本提案は、多品種少量生産に対応できるマイクロ流体チップの製造技術の開発である。ここでは、マイクロ工具によりステンレス鋼表面に直接機械加工する金型製造プロセスを提案し、メカニカルな加工方法でフォトリソグラフィー技術と同等な微細凹凸形状(幅10～100μm×高さ10～100μm)を加工精度±0.5μmで形成することを目標とし、金型コストの低減と製作期間の短縮が可能なメカニカル・リソグラフィー製造技術を開発する。