集積回路における配線ベース故障カバレージの高精度化手法の開発

研究課題

研究代表者	岩崎一彦首都大学東京, システムデザイン学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	量産選別工程で良品と判断された半導体チップが市場で不良を生じるテストエスケープが深刻な問題となっている。本研究では、セル内のビア/コンタクトに生じる抵抗性配線故障を対象とすることにより、高精度故障カバレージ98%を達成する。半導体の微細化プロセスに対して、より現実に即した新しい尺度を提案しているところに特徴がある。ゲートごとのパラメータ抽出後、拡充ルールを開発する。