高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ

研究課題

研究代表者	佐々木実豊田工業大学, 機械システム, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	高感度でありながら非冷却で動作するセンサを、非線形性が強いバネと組み合わせて、ねじり振動子を応用して実現する。波長感度が広く一定な熱型センサの特徴と、小さな振動子の一次元アレイ化によって、赤外分光をハンディな小型システムで可能にする。物質の有無・特定・濃度の、その場測定を可能にすることで、環境モニタリング、食品への異物混入検査、人体からの微量ガス測定による無侵襲医療などの応用を開く。