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高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

佐々木 実  豊田工業大学, 機械システム, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要高感度でありながら非冷却で動作するセンサを、非線形性が強いバネと組み合わせて、ねじり振動子を応用して実現する。波長感度が広く一定な熱型センサの特徴と、小さな振動子の一次元アレイ化によって、赤外分光をハンディな小型システムで可能にする。物質の有無・特定・濃度の、その場測定を可能にすることで、環境モニタリング、食品への異物混入検査、人体からの微量ガス測定による無侵襲医療などの応用を開く。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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