パラジウム−窒化物半導体接触型高感度水素ガスセンサの高信頼性化

研究課題

研究代表者	中村成志首都大学東京, 都市教養学部, 助教
研究期間 (年度)	2009
概要	クリーンエネルギー源として期待されている水素を、多様な環境下で安全に利用するためには、高感度・高速検知可能で無線通信機能を有するユビキタス水素ガスセンサが必要である。そこで、電界効果トランジスタ型センサが期待されているが、湿度や他ガスによる検知特性劣化が問題となっている。本研究では、雰囲気状況を同時モニタすることで検知特性を補償する機構および提案する超高感度センサとの集積化プロセスの開発を目指す。