生体分子操作用の原子間力顕微鏡マルチプローブの開発

研究課題

研究代表者	峯田貴弘前大学, 大学院理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	原子間力顕微鏡(AFM)技術を応用し、生体高分子の分子像を高解像に観察しながら、近接した別プローブを用いて狙った箇所の分子鎖の切断(分子サージャリ)操作を行うナノプローブ技術を確立することが本研究の目的である。シリコンのエッチングをベースにしたナノマシニングの技術シーズを活用し、積層シリコン(SOI)基板を微細加工し、探針、カンチレバー、および上下動作用の熱型アクチュエータを一括形成し、先端をサブミクロンの間隔で近接させた複数の探針とカンチレバーで構成されるAFMマルチプローブを開発する。