温度差法を用いた持続的成長が可能な液相成長技術の開発

研究課題

研究代表者	成塚重弥名城大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究では、液相成長の限界を打破し、持続的に成長が可能な成長方法を提供することを目的とする。そのため、本研究では温度差法に着目する。温度差法では、原料基板側の温度を高くし成長原料を継続的に溶解させ、一方、低温に保った成長基板側では持続的に成長をおこなう。良好に温度差法をおこなうためには、溶液内の温度差を大きくつけることが必須であり、本研究では、効率よく温度差が形成できる成長炉の改良に主眼をおく。