温度差法を用いた持続的成長が可能な液相成長技術の開発
研究代表者 |
成塚 重弥 名城大学, 理工学部, 教授
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研究期間 (年度) |
2009
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概要 | 本研究では、液相成長の限界を打破し、持続的に成長が可能な成長方法を提供することを目的とする。そのため、本研究では温度差法に着目する。温度差法では、原料基板側の温度を高くし成長原料を継続的に溶解させ、一方、低温に保った成長基板側では持続的に成長をおこなう。良好に温度差法をおこなうためには、溶液内の温度差を大きくつけることが必須であり、本研究では、効率よく温度差が形成できる成長炉の改良に主眼をおく。
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