MEMS技術を応用した集積化2.5次元磁気センサの開発

研究課題

研究代表者	木村孝之茨城大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究では、小型磁気浮上型モータや,磁気支持フライホール等の回転体軸ブレの計測を行うための、2.5次元計測用集積化磁気センサを開発する。磁気センサは0.18μmCMOSプロセスで作製し、16×16個を格子状に並べる事により磁石を取り付けた軸の位置を測定する。測定対象は3000rpm程度で回転するモータの軸ブレであるため、センサの応答速度を8000フレーム/秒とすることを目標とする。