大気圧グロー放電によるアモルファスカーボン膜の高速成膜技術の開発

研究課題

研究代表者	八束充保兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 特任教授
研究期間 (年度)	2009
概要	廃液処理や生産環境等に課題があるめっきに代わる環境適応型ドライプロセスによる高速表面処理技術の開発ニーズは大きい。プラズマCVD、スパッタリング等、従来型ドライプロセス成膜法は、低気圧放電プラズマを利用するものであり、その成膜速度は0.02μm/min程度と遅く生産効率が高くない。また、高真空を必要とするため装置コストも高い。本研究では、安定な大面積大気圧グロー放電プラズマの生成と、これを用いた高品質カーボン膜の高速成膜技術を開発する。