プラズマ配向カーボンナノチューブ大面積成長装置の開発

研究課題

研究代表者	林康明京都工芸繊維大学, 大学院工芸科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究ではプラズマと基板の間に形成される強いシース電界を利用して、CVD(化学気相堆積)法によりカーボンナノチューブ(CNT)を自立させながら、大面積基板上に垂直に配向成長させる技術・装置を開発する。これまで、大面積化が可能な“RF支援DCプラズマCVD法”を開発し、予備実験において7cm角の基板上全面に自立配向したCNTを成長させることができている。本研究では、先鋭なCNTからの電界電子放出を利用したディスプレイ、キャパシタ、X線発生装置などへの応用を目指して、20cm角基板上全面へ自立配向CNT成長が可能な装置を開発し、実用性を実証する。