大気圧プラズマを用いた低温高速加工処理システムの開発

研究課題

研究代表者	木村高志名古屋工業大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	低温高速加工処理は、研削や研磨といった機械加工と異なる、半導体製造プロセスでの基板材料の加工に代表される非接触かつ低温での加工処理技術として需要があるものである。本加工処理は、従来の低圧プラズマに比べ、大気圧プラズマによるプロセスが非等方性の点では劣るものの高速化は容易にできる。そこで、本研究では、大気圧プラズマ中で生成された活性粒子をプラズマリアクタ下流部に設置した材料に照射することで、より低温で高速に加工処理できるシステムの開発をする。