超臨界流体を用いたサブナノ級薄膜細孔解析技術の開発

研究課題

研究代表者	近藤英一山梨大学, 大学院医学工学総合研究部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	超臨界流体の細孔への高い浸透性を利用して、測定物質から反射する光の偏光パラメータが流体の細孔への浸透とともに変化することを計測して、測定物質の細孔体積や分布を計測する技術で、薄膜中のサブナノ級細孔の評価が可能である。本提案課題では、超臨界流体の揺動や高圧セルの窓材が偏光情報に及ぼす影響を抑制・補正し精度を高く測定するための技術の開発、ならびに細孔評価のための計測条件の系統的検討を行う。