X線量計測用高品質ZnO系電極膜の開発

研究課題

研究代表者	越後谷淳一岩手大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	医療用の電離箱は、透明導電膜で被覆されたプラスチックの電極板3枚が空気層を介し二重構造を形成している。X線が通過すると電離効果で、電極板間に電流が流れ2つの電流でX線量が計測される。現在ITO透明導電膜が用いられているが、X線吸収量の低減化、高感度化等が要請されている。本研究では、X線吸収係数の小さな材料系で、低温成膜・高均一膜厚スパッタ技術を駆使し、電離箱用高品質電極膜の開発を行う。