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レーザーアニール低温結晶化技術による高性能フレキシブル圧電体フィルムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

脇谷 尚樹  静岡大学, 工学部, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要研究者がこれまで開発してきたRFマグネトロンスパッタリング法による300°C以下におけるPtおよびLaNiO3酸化物電極の結晶化技術と、エキシマレーザー照射を用いたレーザーアニール法を組み合わせることにより、300°C以下での圧電体(PZT)薄膜の結晶化技術を応用し、300°C以下の温度で耐熱性を有するポリイミドフィルム上にこれらの材料を制膜することにより、フレキシブル素子としての機能を実証するものである。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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