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超精密加工のための熱変形推定システムの開発
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
地域事業
地域イノベーション創出総合支援事業
シーズ発掘試験
研究代表者
下平 隆
長野県工業技術総合センター, 情報技術部門, 研究員
研究期間 (年度)
2009
概要
6箇所の温度変化を0.001°Cの分解能で測定する技術を開発し、この測定装置により分析した結果、ナノメートル分解能の加工機では加工機各部の1°C程度の僅かな温度変化が加工精度に直接影響することが判明した。