超精密加工のための熱変形推定システムの開発

研究課題

研究代表者	下平隆長野県工業技術総合センター, 情報技術部門, 研究員
研究期間 (年度)	2009
概要	6箇所の温度変化を0.001°Cの分解能で測定する技術を開発し、この測定装置により分析した結果、ナノメートル分解能の加工機では加工機各部の1°C程度の僅かな温度変化が加工精度に直接影響することが判明した。