SEM 中マイクロプラズマ処理装置の開発

研究課題

研究代表者	八田章光高知工科大学, 工学部電子光システム工学科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本課題は走査型電子顕微鏡中で試料を観察しながら、局所的にマイクロプラズマ処理を行う技術の開発である。マニピュレーター先端に取りつけたマイクロオリフィスから試料の近傍にマイクロガスジェットを噴射し、オリフィスを電極として直流、パルス、および高周波の放電によってマイクロプラズマを生成する。反射電子像を観察しながら、その場でガスの選択により局所的な薄膜コーティングやエッチングなどの微細加工が可能となる。