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SEM 中マイクロプラズマ処理装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

八田 章光  高知工科大学, 工学部 電子 光システム工学科, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要本課題は走査型電子顕微鏡中で試料を観察しながら、局所的にマイクロプラズマ処理を行う技術の開発である。マニピュレーター先端に取りつけたマイクロオリフィスから試料の近傍にマイクロガスジェットを噴射し、オリフィスを電極として直流、パルス、および高周波の放電によってマイクロプラズマを生成する。反射電子像を観察しながら、その場でガスの選択により局所的な薄膜コーティングやエッチングなどの微細加工が可能となる。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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