研究代表者 |
木股 雅章 立命館大学, 理工学部, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2009
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| 概要 | 本研究では、赤外線センサなど真空パッケージ評価や分析装置内の微小空間の真空度を0.01Pa～10000Paの範囲で計測することできる1mm角以内の大きさの超小型熱伝導方式マイクロ真空計を開発する。この超小型真空計を用いることで、真空封止されたマイクロデバイスの信頼性試験データの取得が可能になり、局所的に真空度をコントロールする必要のある分析装置への適用が期待できる。さらに、量産性のあるMEMS技術を利用することから、従来の真空計の代替品としての普及も期待できる
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