電流検出型熱電対と振動を利用した薄膜ピラニ真空センサの測定域拡大の研究開発

研究課題

研究代表者	木村光照東北学院大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	高感度温度差センサである電流検出型熱電対を用いた新規なカンチレバ構造の薄膜ピラニ真空センサの提案とその実証の研究開発である。高真空では、ガス分子数の減少に伴う出力飽和を、温度差検出による極限まで計測できるゼロ位法で計測し、低真空(1気圧近く)での出力飽和は、センシングカンチレバ構造の熱膨張差に基づく加熱強制振動で、強制対流熱伝達を利用して克服する。基板過熱の影響、パルス加熱による解決法の最適条件とその実証、周囲温度依存性が小さいことの実証、更に振動方法と構造およびパッケージの検討とその実証を行う。