金属表面膜の光学式膜厚計の開発と応用

研究課題

研究代表者	井上高教大分大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	金属表面などに付着している異種の膜の厚さを精密に計測する機器を開発し、手法を確立する。操作性に優れた光ファイバーを用いる装置であり、膜厚数10nm以下の感度、測定エリア0.1mm以下の性能を目指し、様々な分野(半導体産業、自動車産業、金属産業)での応用可能な装置の開発を行う。具体的な対象として、まずはアルミニウム金属の表面の酸化物アルミニウムを行う。