マイクロセンサ・アクチュエータ用BiFeO3非鉛圧電体薄膜の開発

研究課題

研究代表者	奥山雅則大阪大学, 基礎工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	超音波センサ、超小型マイク、発振子、環境振動発電等のセンサ・アクチュエータにおいて圧電体薄膜は重要な基幹部であり、これまでPZT(PbZrXTi1-XO3)膜が多く用いられてきたが、有害な鉛を含まない物質の創製が望まれている。その候補としてBaTiO3やKNbO3等が研究されているが低いキュリー温度、拡散によるSi素子の損傷等問題がある。最近、BiFeO3を薄膜化しその優れた強誘電性を発見したことから、巨大圧電性も非常に期待されている。本研究ではBiFeO3薄膜を作製し、圧電性を調べ、最適な製法、組成を検討し、圧電定数を大きく増大させる方法を明らかにして、PZTに代わる圧電体薄膜として実用化を図る。