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マイクロセンサ・アクチュエータ用BiFeO3非鉛圧電体薄膜の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

奥山 雅則  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要超音波センサ、超小型マイク、発振子、環境振動発電等のセンサ・アクチュエータにおいて圧電体薄膜は重要な基幹部であり、これまでPZT(PbZrXTi1-XO3)膜が多く用いられてきたが、有害な鉛を含まない物質の創製が望まれている。その候補としてBaTiO3やKNbO3等が研究されているが低いキュリー温度、拡散によるSi素子の損傷等問題がある。最近、BiFeO3を薄膜化しその優れた強誘電性を発見したことから、巨大圧電性も非常に期待されている。本研究ではBiFeO3薄膜を作製し、圧電性を調べ、最適な製法、組成を検討し、圧電定数を大きく増大させる方法を明らかにして、PZTに代わる圧電体薄膜として実用化を図る。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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