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気相原料供給型溶液法によるSiCバルク結晶成長

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

宇治原 徹  名古屋大学, 工学研究科, 准教授

研究期間 (年度) 2009
概要パワーデバイス材料として期待されるSiCは、高品質結晶の成長が難しく、高コスト等の問題もある。近年、従来の昇華法に代わる方法として、高品質結晶育成に向いている溶液成長法が検討されている。溶液法は、これまで成長速度が遅いという問題が指摘されていたが、それについては溶媒への元素添加により目処がつきつつあり、いよいよ大型結晶化が現実味を帯びてきた。本研究は大型結晶化から量産へ向けて必須となる連続成長の課題を解決するものである。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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