マイクロマシン技術を用いた極低温検出器用立体型超伝導磁気センサの開発

研究課題

研究代表者	赤池宏之名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究課題では、極低温検出器用立体型超高感度超伝導グラジオメータを実現することを目標とする。このグラジオメータは、極低温検出器の増幅器として超伝導磁気センサ(SQUID)を用いる場合に必要となる磁気シールドを不要にし、極低温検出器との接続法や冷却方法・コストの改善につながる。本研究では、環境磁場に対して耐性のある立体型超高感度超伝導グラジオメータを、マイクロマシン作製に用いられているエポキシ樹脂系レジストを応用することにより実現する。