X線分析装置用透過型多層膜集光レンズの開発

研究課題

研究代表者	安本正人産業技術総合研究所, 計測フロンティア研究部門, 主任研究員
研究期間 (年度)	2009
概要	ナノテク・材料研究においては、X線を用いて材料組成を分析する技術は非常に重要である。放射光など高輝度光源のみならず、既存のX線源を用いて高感度・高分解能で分析する技術の開発が期待されている。そのために、本研究課題では、測定位置でのX線強度の向上を目指して、いままで培ってきた多層薄膜積層法を用いて、透過型X線集光レンズの開発を行う。