ドライエッチングによるポリマー3次元ナノ構造形成技術の開発

研究課題

研究代表者	鍋澤浩文富山県工業技術センター, 中央研究所, 研究員
研究期間 (年度)	2009
概要	マイクロ流体デバイスにおいては、複雑な流体制御や集積化された機能性タンパク質を利用した高感度分析を実現するために、マイクロ流路表面の局所に100nm～1000nm程度の微細な構造を正確かつ簡便に構築し、表面の吸着性や濡れ性を制御することが望まれている。そこで、本研究では、ドライエッチングと微粒子配列技術を融合することにより周期的な3次元ナノ構造を形成する技術を開発し、生体高分子の高感度検出を目的としたマイクロ流体デバイスへの応用を図る。