| 概要 | 窒素ドープダイヤモンドライクカーボン(DLC)は,酸素・水素発生電位が高いため,水素・酸素発生に干渉されずに電気化学反応を起こすことの可能な電極材料である.この窒素ドープDLCを気体透過膜表面に成膜した気体透過性DLC電極を用いることにより,時間荷重平均値被曝限度(TLV-TWA)値である100 ppbのジボラン(B2H6)を検出可能な電気化学ガスセンサーが実現可能である.本研究開発では,DLC組成と形状の最適化により,気体透過性DLC電極の有毒ガスに対する反応性制御手法を確立し,半導体製造プロセスで用いるアルシン(AsH3)やホスフィン(PH3)等有毒ガスを微量検出可能な電気化学ガスセンサーの実現を目指す.
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