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大型・高精度レーザ干渉計システム用直角参照鏡誤差校正システムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

古谷 涼秋  東京電機大学, 工学部, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要一般に直角参照鏡を使った二軸のレーザー干渉計によって、二次元ステージの変位が高精度に測定されている。直角参照鏡に形状誤差があると、レーザー干渉計の出力は、二次元ステージの軸の形状誤差と直角参照鏡の形状誤差の複合した信号となる。これらの信号から二種類の誤差をステージの再現性と自己校正テクニックにより分離し、参照鏡の形状誤差を測定することを目的とする。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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