大型・高精度レーザ干渉計システム用直角参照鏡誤差校正システムの開発

研究課題

研究代表者	古谷涼秋東京電機大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	一般に直角参照鏡を使った二軸のレーザー干渉計によって、二次元ステージの変位が高精度に測定されている。直角参照鏡に形状誤差があると、レーザー干渉計の出力は、二次元ステージの軸の形状誤差と直角参照鏡の形状誤差の複合した信号となる。これらの信号から二種類の誤差をステージの再現性と自己校正テクニックにより分離し、参照鏡の形状誤差を測定することを目的とする。