研究代表者 |
梅澤 憲司 大阪府立大学, 大学院理学系研究科, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2009
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| 概要 | 本研究は、金属キャピラリーを用いて、1イオンビームを電気的に中性化し、2ミクロンオーダのビーム径に絞り、3真空中での表面分析への応用や、4大気中での微生物照射を行うための技術開発を行うものである。電子線やイオンビームなどの荷電粒子などではなく、電気的に中性な原子ビームを照射することで試料の導電性に関係なく分析、改質できることが期待できる。金属を用いる理由は、10keV以下の入射エネルギーでは金属固体表面原子との1回散乱で100%近い中性化効率を期待できるからである。
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