ビスマス系セラミックス材料を用いたマイクロ圧力センサの開発

研究課題

研究代表者	角田龍則富山県工業技術センター, 中央研究所評価技術課, 研究員
研究期間 (年度)	2009
概要	キュリー点Tcの高い圧電体材料であるビスマス系セラミックスを用いて、高感度な圧力センサの開発を行うことが研究目的である。非鉛系のセラミックス材料のBi<sub>4</sub>Ti<sub>3</sub>O<sub>12</sub>はTcが800°C以上であり、代表的な圧電材料であるPZTよりも高く、高温の条件で使用される電子部品に応用可能である。また、セラミックス厚膜を作製したシリコン基板の裏面をエッチングすることによってキャビティ構造を形成して、センサの感度向上への影響も調査する。