高効率ポーラスSiC蛍光基板の開発

研究課題

研究代表者	上山智名城大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	黄橙色のドナー・アクセプタ・ペア発光が可能であるNおよびBが添加された6H-SiC結晶を用い、陽極酸化によるポーラスSiCを作製技術を確立して、青色から緑色にかけての短波長蛍光材料の高効率化を行う。本課題では特に、結晶の平均サイズを制御する陽極酸化技術と、発光効率を支配する表面準位低減のためのパッシベーション技術に重点をおいて研究を実施する。