強誘電体1次元ナノ構造の作製技術の開発と新機能応用

研究課題

研究代表者	清水勝兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	強誘電体(PbTiO3やPZT)1次元(1D)ナノ構造(ナノロッド、ナノチューブ等)の新機能創成と応用を目的に、ZnOナノロッドをテンプレートとし被覆性の優れた、MOCVD法により強誘電体1Dナノ構造を基板上に作製する技術を始めて開発した、これら高品質1Dナノ構造の圧電性・強誘電性を詳しく調べ、その特異性に由来する新機能を創成し、超高集積FeRAM用ナノキャパシタ、ナノ強誘電体FET、圧電振動発電デバイスなどの新規デバイスの開発を目指す。