電磁場変動形熱プラズマによるナノ粒子の新しい高速選択生成法の開発

研究課題

研究代表者	田中康規金沢大学, 理工研究域, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究では、申請者らが開発した「高気圧変調誘導熱プラズマ」を用いた、新しい熱プラズマナノ粒子高速生成技術の開発を目的とする。高気圧変調型誘導熱プラズマは、不純物のない誘導熱プラズマを意図的に時間変動させ、熱プラズマの温度・ラジカル密度の時間平均値を制御し、高気圧プラズマにも非平衡性を導入する新手法である。ここでは高気圧変調誘導熱プラズマでセラミックナノ粒子の生成を行い、変調条件、特にDuty factorに対する生成粒子への影響を検討する。