鋼のスパッタエッチングによる光吸収特性に優れた微細突起物の開発

研究課題

研究代表者	中佐啓治郎広島国際学院大学, 工学部総合工学科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	工具鋼をアルゴンイオンによりスパッタエッチングすると、表面に直径が1μm以下の微細な突起物が形成され、可視光線を吸収する。この突起物を金型とし、その反転材を再度型として用いると、突起を有する透明な高分子膜が製造でき、テレビ画面などの反射防止膜として利用できる。本研究では、鋼の合金成分・熱処理を変えて、突起物の種類、高さ/直径比を変え、硬さ・じん性を改良し、光反射防止膜製造に適した型を開発する。