酸化亜鉛を使ったセンサ素子の高速応答のための開発

研究課題

研究代表者	岸本誠一高知工業高等専門学校, 機械工学科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	酸化亜鉛はバンドギャップ・エネルギーが広いことや結晶表面がその雰囲気に敏感であることから、紫外線やガスを検知するセンサ材料として注目されている。しかし一方で、紫外線照射やガス分子付着に対する応答速度が遅いことが問題点として指摘されている。そこで、実用化のために、酸化亜鉛薄膜の製膜プロセスから電極形成までを応答速度に注目して総合的に検討する。