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ナノ構造制御された超多周期積層厚膜の高速作製技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

福永 博俊  長崎大学, 工学部, 教授

研究期間 (年度) 2009
概要研究担当者らは、10[nm]程度の硬・軟磁性層を1000層程度積層したMEMS用厚膜磁石をレーザディポジッション(PLD)法により実現しているが、ドロップレットにより積層構造が一部崩れる問題があった。そこで、基板―ターゲット間に飛散されたドロップレットを補助レーザにより再アブレーションし、成膜速度を損なうことなくドロップレットを除去する「補助レーザ法」を開発・改良し、ナノ構造厚膜磁石の一層の高性能化を達成する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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