ナノ構造制御された超多周期積層厚膜の高速作製技術の開発

研究課題

研究代表者	福永博俊長崎大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	研究担当者らは、10[nm]程度の硬・軟磁性層を1000層程度積層したMEMS用厚膜磁石をレーザディポジッション(PLD)法により実現しているが、ドロップレットにより積層構造が一部崩れる問題があった。そこで、基板―ターゲット間に飛散されたドロップレットを補助レーザにより再アブレーションし、成膜速度を損なうことなくドロップレットを除去する「補助レーザ法」を開発・改良し、ナノ構造厚膜磁石の一層の高性能化を達成する。