MEMS・CNT融合プロセスによるナノセンサデバイスの開発

研究課題

研究代表者	磯野吉正神戸大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	当研究の研究目的は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術、ナノ加工技術およびカーボンナノチューブ形成技術を融合して「極微小質量センサデバイス」を開発することにより、タンパク質に代表されるバイオ分子の質量や抗原抗体過程を検知する、新規なバイオ分子質量計測技術を確立することである。シリコンMEMS技術とCNT形成技術を融合することで、ディスポーザルで低コストなナノセンサデバイスの製造を目指す。