研究代表者 |
池山 雅美 産業技術総合研究所, 中部センター サステナブルマテリアル研究部門, 研究グループ長
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2009
|
| 概要 | フッ素ゴムは種々の真空装置に広く用いられている。フッ素ゴムの気体透過率を低減出来れば、到達真空度や排気速度の向上し、不純物低減やプロセス時間短縮が出来る。気体透過率低減技術としては、既にダイヤモンド状炭素(DLC)膜形成が実用化されているが、フッ素ゴムではその透過率低減効果は僅かしかない。それは、フッ素ゴム表面の分子間に大きな隙間があるためである。本課題では、隙間を埋める工夫とより低温でDLC成膜する技術を開発する。
|
|---|
