新規CrAlN/BN複合膜のメタルソーへの応用展開

研究課題

研究代表者	野瀬正照富山大学, 芸術文化学部, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	金属機械加工用工具の長寿命化は常に求められてきた重要課題である。申請者らの研究成果であるDC-RF同時成膜法による独創技術のCrAlN微結晶と非晶質BN相のナノコンポジット膜が有する超高硬度と高耐熱・耐酸化性を活かし、長寿命の工具用保護膜として早期の実用化を目指す。本試験研究では、硬度と内部応力のバランスと密着性向上を図るため、成膜時の基板温度、BN相混合比、下地膜厚さ等の最適条件を検討し長寿命保護膜を開発する。