マイクロリットルサンプルの熱伝導率測定センサの開発

研究課題

研究代表者	高松洋九州大学, 工学研究院, 教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究は、流体の熱伝導率の新しい測定法とセンサの開発を目的としたものである。この方法は、シリコン基板上に梁状に形成した微細なMEMSセンサを用いるものであり、わずか1μl程度のサンプルの測定を1ms以下の極短時間でかつ定常状態で行える優れた特徴を有している。本研究では、センサの試作とそれを用いた液体の熱伝導率測定の実証を行い、実用化のための問題点を明らかにする。