沿面放電プラズマを用いたマスクレス高速エッチング技術の開発

研究課題

研究代表者	迫田達也宮崎大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	近年、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)や各種半導体作製工程においては、処理プロセスが簡易であると共にマスクレスの微細加工技術が強く望まれている。本研究では、誘電体電極の側面で、任意の領域にのみ限定して沿面放電プラズマを生成し、マスク材料を必要としない新しいタイプのマスクレスプラズマエッチング技術を開発する。本手法によれば、低コスト化が最も大きな課題である太陽電池の製造プロセスへの応用も可能であり、提案手法の開発及び実現化によりに、高効率型太陽電池の低コスト・大量生産化にも道を大きく広げることが期待される。