ツインプローブ顕微鏡による局所電子物性評価装置の開発

研究課題

研究代表者	佐藤宣夫京都大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2009
概要	ナノスケールサイズで組み込まれた高性能デバイスの評価手法として、二探針を有する(ツイン)プローブ顕微鏡を応用したナノスケール電子物性評価の手法および装置の開発を行う。本研究装置の大きな特徴は、互いのプローブに働く相互作用力を逐次検出し、その間隔が精密に制御された状態下において、プローバ間での極微小な電圧-電流計測(局所電子物性評価)を行えることにある。