1. 前のページに戻る

ツインプローブ顕微鏡による局所電子物性評価装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

佐藤 宣夫  京都大学, 大学院工学研究科, 助教

研究期間 (年度) 2009
概要ナノスケールサイズで組み込まれた高性能デバイスの評価手法として、二探針を有する(ツイン)プローブ顕微鏡を応用したナノスケール電子物性評価の手法および装置の開発を行う。本研究装置の大きな特徴は、互いのプローブに働く相互作用力を逐次検出し、その間隔が精密に制御された状態下において、プローバ間での極微小な電圧-電流計測(局所電子物性評価)を行えることにある。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst