新摩擦制御法を用いたサブナノメートル位置決め精度を有する装置開発

研究課題

研究代表者	田中淑晴豊田工業高等専門学校, 機械工学科, 助教
研究期間 (年度)	2009
概要	超精密位置決め装置では、微小変位領域での制御ゲインを極めて大きくすることが一般的である一方、高速移動時などでは振動的にならないためゲインは低目に設定をする。そのため、高速移動時などでは位置決め装置の性能を活かしきれず余分なタスク時間がかかってしまう。そこで、摩擦挙動をモデル化した非線形摩擦モデルを用いた制御方法を提案し、サブナノメートル精度と長ストローク・高速移動を両立させることを目的とする。