光を用いた微小気泡除去装置の開発

研究課題

研究代表者	元祐昌廣東京理科大学, 工学部第一部機械工学科, 助教
研究期間 (年度)	2009
概要	微細化・高集積化が進む中、薬液塗布や洗浄の工程において、10μm～1mm程度の微小溝や間隙、流路内に混入、発生した微小気泡は壁面に付着し易く、塗布や洗浄のムラや圧力損失、品質低下等のトラブルの源となる。本研究では光熱効果を用いて気泡を操作する技術を開発し、微小気泡を光照射により非接触で除去する装置のプロトタイプを製作し,適用範囲を明らかにして設計指針を確立する。