境界収束型マイクロ波ランチャーを利用した高密度近接プラズマによる三次元・超高速DLC成膜装置の開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 起業検証タイプ