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超長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者 株式会社イー・エム・ディー
研究責任者 節原 裕一  大阪大学, 接合科学研究所, 教授
研究期間 (年度) 2010 – 2011

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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