超長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者	株式会社イー・エム・ディー
研究責任者	節原裕一大阪大学, 接合科学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2010 – 2011