窒化ガリウム(GaN)基板の高能率・ダメージレス平坦化加工技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者	株式会社荏原製作所
研究責任者	佐野泰久大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2010 – 2012