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窒化ガリウム(GaN)基板の高能率・ダメージレス平坦化加工技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者 株式会社荏原製作所
研究責任者 佐野 泰久  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度) 2010 – 2012

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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