4枚の非球面ミラーを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発

研究課題

体系的課題番号	JPMJSN10BB
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN10BB
研究責任者	松山智至大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2010 – 2013
概要	非球面ミラーを形状精度1nm レベルで作製し、これら4枚を高精度に組み合わせることで、硬X線領域において高い分解能を実現するアクロマティック結像光学系を構築し、これによって結像型硬X線顕微鏡を開発します。本顕微鏡によって試料内部を二次元(もしくは三次元)で高分解能観察しながら、同時にX線分光分析を行うことで、試料の形状だけでなく状態をも調べられる新しいX線顕微分光法が開拓されるものと期待されます。