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多ピクセルTES 型X 線検出器の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN10B9
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN10B9
研究責任者 前畑 京介  九州大学, 大学院工学研究院, 准教授
研究期間 (年度) 2010 – 2012
概要高いエネルギー分解能を持ち、ほぼ全元素からの特性X線ピークを分離した測定が可能なTES型X線検出器の多ピクセル化に関する開発を行います。本開発は、検出器のデバイス、実装技術、X線集光技術を含んでいます。本開発により、分析電子顕微鏡用にこれまでに開発した単ピクセルTES型X線検出器(500cps)に対して4倍程度の計数率を達成することが可能となります。このことで、走査透過型電子顕微鏡でナノスケールの高精度な元素分布マップの取得が期待されます。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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