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波長角度同時分散型時分割X線反射率計の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN10BA
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN10BA
研究責任者 松下 正  高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, ダイアモンドフェロー、名誉教授
研究期間 (年度) 2010 – 2013
概要薄膜の厚さ、薄膜表面垂線方向の精密電子分布、表面・界面の粗さなどのナノ~サブナノメートルスケールでの構造評価に広く利用されているX線反射率測定法において反射率曲線全体を同時にかつサブ秒~ミリ秒の時間分解能で連続的に測定できる新しい時分割X線反射率計を開発します。これにより薄膜などにおける環境の急激な変化や外的刺激による構造変化の実時間追跡を可能とし、機能性薄膜や表面・界面での機能出現と構造変化の関連を動的に研究する手段を提供します。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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